随着微电子工业的发展, 对高效过滤器要求越来越严, 德国标准DIN24183率先提出
"容易穿透粒径"(Most Penetrating Particle Size, 简称MPPS)法, 并采用容易穿
透粒径来检测空气过滤器的效率. 其实不同的滤料和不同的滤速容易穿透粒径是
不同的, 一般在0.11um-0.25um范围内. www.csxcyb.com 然后以此粒径测试其效率或用于扫描实验.
MPPS是目前严格的试验标准,
具体测试一般采用DOP方法. DOP(邻苯二甲二辛酯)法: 实验尘源为0.3um单分散相DOP液滴, 测量粉尘仪器为光度
计, 以气样的浊度差别来判定过滤器对DOP颗粒的过滤效率. 目前逐步采用大流量激光
粒子计数器或凝结核计数器对过滤器整个出风面进行扫描检验.
| 中国标准 | 欧洲标准
EN779-1993 | 美国DOP法
0.3um效率/% | ASHRA标准
计重法效率/% | ASHRAE标准
比色法效率/% | | 粗效过滤器 | G1 | | < 65 | | | 粗效过滤器 | G2 | | 65-80 | | | 粗效过滤器 | G3 | | 80-90 | | | 中效过滤器 | G4 | | >=90 | | | 中效过滤器 | F5 | | | 40-60 | | 高中效过滤器 | F6 | 20-25 | | 60-80 | | 高中效过滤器 | F7 | 55-60 | | 80-90 | | 高中效过滤器 | F8 | 65-70 | | 90-95 | | 高中效过滤器 | F9 | 75-80 | | >=95 | | 亚高效过滤器 | H10 | > 85 | | | | 亚高效过滤器 | H11 | > 98 | | | | 高效过滤器A | H12 | > 99.9 | | | | 高效过滤器A | H13 | > 99.97 | | | | 高效过滤器B | H14 | > 99.997 | | | | 高效过滤器C | U15 | > 99.9997 | | | | 高效过滤器D | U16 | > 99.99997 | | | | 高效过滤器D | U17 | > 99.999997 | | |
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敏感元器件静电压标准 HBM模式(人体模式) ESD STM5.1-1998 | 级别 | 静电压范围 | | Class 0 | < 250V | | Class 1A | 250-<500V | | Class 1B | 500-<1,000V | | Class 1C | 1,000-<2,000V | | Class 2 | 2,000-<4,000V | | Class 3A | 4000-<8,000V | | Class 3B | >=8,000V |
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MM模式(机器模式) ESD STM5.2-1999 | 级别 | 静电压范围 | | Class M1 | < 100V | | Class M2 | 100-<200V | | Class M3 | 200-<400V | | Class M4 | >=400V |
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CDM模式( 放电模式) ESD STM5.3.1-1999 级别 | 静电压范围 | | Class C1 | < 125V | | Class C2 | 125-<250V | | Class C3 | 250-<500V | | Class C4 | 500-<1,000V | | Class C5 | 1,000-<1,500V | | Class C6 | 1,500-<2,000V | | Class C7 | >=2,000V |
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